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电子芯片制造、半导体晶圆加工、液晶显示(LCD/OLED)等生产过程中,需使用超纯水(电阻率≥18.2 MΩ・cm,TOC≤5 ppb),原水中的铁锰离子若未彻底去除,会导致:
半导体元件表面污染,影响电路性能和成品率;
腐蚀反渗透(RO)膜或离子交换树脂,缩短设备寿命。
处理工艺:原水→锰砂过滤(除铁锰)→超滤(UF)→RO 反渗透→EDI 电去离子→紫外线杀菌→超纯水
锰砂作为预处理环节,优先去除铁锰离子,避免其对后续精密膜组件和树脂造成 “中毒”(如铁离子不可逆吸附在树脂表面)。
美国 SEMI 标准(如 SEMI E1.3)要求工艺用水中铁≤0.5 μg/L、锰≤0.2 μg/L,锰砂过滤是实现该目标的基础步骤之一。
应用场景:
炼油厂、化工厂排放的废水中常含有乳化油、溶解油及铁锰离子,若直接进入生化处理系统,铁锰会催化油品氧化,降低微生物活性。
经隔油、气浮处理后的废水,需通过锰砂过滤进一步去除溶解性铁锰(如 Fe²⁺因络合作用难以沉淀),为后续生化或回用创造条件。
处理目标:
铁≤2 mg/L,锰≤1 mg/L,同时降低油含量(≤5 mg/L),满足《石油化学工业污染物排放标准》(GB 31571-2015)。
石化装置(如反应塔、换热器)的循环冷却水因蒸发浓缩,铁锰离子浓度可升高 3~5 倍,易形成铁锰氧化物黏泥,堵塞换热管道并诱发垢下腐蚀。
解决方案:
采用锰砂旁滤装置(过滤流量为循环水量的 5%~10%),持续去除悬浮物、铁锰氧化物及菌藻代谢产物,减少系统整体浊度和铁锰负荷。
机械加工中使用的切削液(乳化液、半合成切削液)因接触金属工件,易混入铁屑、锰离子及微生物,导致液体变质发臭,需再生回用或无害化处理。
处理工艺:废切削液→离心除杂→锰砂过滤(吸附铁锰离子)→膜分离(去除油和有机物)→再生液回用
锰砂的吸附作用可降低切削液中的金属离子浓度,延缓细菌繁殖,延长液体使用寿命。
先通过锰砂过滤去除低价铁锰离子(Fe²⁺、Mn²⁺),再通过化学沉淀去除高价金属离子。
金属电镀、阳极氧化等表面处理工序中,废水中含有Fe²⁺/Fe³⁺、Mn²⁺及重金属离子(如镍、铬),需分步去除:
满足《电镀污染物排放标准》(GB 21900-2008),铁≤3 mg/L,锰≤2 mg/L,同时为重金属回收创造条件。
纸浆颜色加深(产生 “铁斑”“锰斑”);
腐蚀造纸设备(如蒸球、管道)。
造纸行业的制浆工艺(如硫酸盐法、亚硫酸盐法)对水质要求较高,原水中的铁锰离子会与木质素反应,导致:
处理方案:
采用锰砂过滤 + 活性炭吸附组合工艺,去除铁锰离子及有机物,保障纸浆白度和设备安全。
印染废水中的 ** 染料分子(如活性染料、酸性染料)** 常与铁锰离子形成络合物,导致传统生化处理难以脱色。
锰砂滤料的催化氧化作用可破坏部分染料结构,同时吸附铁锰络合物,提高后续脱色工艺(如臭氧氧化、芬顿反应)效率。
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